[实用新型]下开平动式直拉单晶炉无效
申请号: | 99205457.5 | 申请日: | 1999-03-16 |
公开(公告)号: | CN2371202Y | 公开(公告)日: | 2000-03-29 |
发明(设计)人: | 钟兴儒;田金法;吴金良;林兰英;陈诺夫 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所;中国科学院力学研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 1000*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 开平 动式直拉单晶炉 | ||
【权利要求书】:
1、一种下开平动式直拉单晶炉,包括一炉桶、一炉底,其特征在于,一炉体支架,在该炉体支架的上面固接有一炉桶,一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接,一液压系统与炉底连接,该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上。
2、按权利要求1所述的一种下开平动式直拉单晶炉,其特征在于,其中该液压系统包括:一液压系统底座,在该液压系统底座的上面装有两可升降的升降支臂,该升降支臂的上端与炉底的耳部连接。
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