[实用新型]下开平动式直拉单晶炉

说明书

本实用新型提供一种单晶炉，特别是指一种下开平动式直拉单晶炉。

直拉单晶炉是一种工业化生长半导体单晶的主要设备。它的晶体生长室由炉桶和炉底两部分组成，依靠法兰盘用螺栓连接成一个密封体，晶体生长在其中进行。晶体生长前，打开生长室，装入原材料；生长工艺完成后再次打开生长室，取出生长的晶体，装入新的原材料，又可开始新一次晶体生长过程。直拉单晶炉生长室的传统启闭方法有两种：一室用液压传动机构将炉桶及与之相连接的零部件一同向上(开启)和下降(闭合)。这样的方法，在炉桶的上方必须留较大的空间，厂房高度随之加高。再者，起重负载较大，尤其对于加有超导磁体的直拉单晶炉尤为明显。还有一种单晶炉是在炉桶上安装一个活动门，称为开门式单晶炉。但是，这种开门式单晶炉不适合外加超导磁体。

本实用新型是对直拉单晶炉的开启和闭合方法的一个重要改进。小型直拉单晶炉，其炉桶起重的负载约500公斤。对于加有超导磁体的直拉单晶炉，炉桶起重负载约1000公斤；而炉底起重负载约200公斤。

本实用新型的主要目的在于，提供一种下开平动式直拉单晶炉，其可减少炉桶的工作高度，节省单晶炉占用的场地空间；同时可使单晶炉的操作更方便灵活。

本实用新型的另一目的在于，提供一种下开平动式直拉单晶炉，其可减轻起重负载。

本实用新型的再一目的在于，提供一种下开平动式直拉单晶炉，其可减少制造直拉单晶炉的成本。

本实用新型的目的是由以下方案实现的：

一种下开平动式直拉单晶炉，包括一炉桶、一炉底，其特征在于，一炉体支架，在该炉体支架的上面固接有一炉桶，一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接，一液压系统与炉底连接，该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上。

其中该液压系统包括：一液压系统底座，在该液压系统底座的上面装有两可升降的升降支臂，该升降支臂的上端与炉底的耳部连接。

为了进一步上面本实用新型的结构和特征，以下结合实施例及附图对本实用新型作进一步的详细描述，其中：

图1是本实用新型的结构示意图。

请参阅图1所示，一种下开平动式直拉单晶炉，包括一炉桶1、一炉底4，其中一炉体支架3，该炉体支架3大致为矩形框体，在该炉体支架3的上面固接有一炉桶1，其固接的方式可为焊接或螺接；一炉底4用法兰盘2与炉桶1的下部连接，一液压系统5与炉底4连接，该液压系统5通过一滚轮53坐于炉体支架3下面的平动滑道6上。

其中该液压系统5包括：一液压系统底座52，在该液压系统底座52的上面装有两可升降的升降支臂51，该升降支臂51的上端与炉底4的耳部41连接，以便该升降支臂51的上升、下降都可带动炉底4的上升与下降。

本实用新型的工作过程为：

开启单晶炉时，首先松开法兰盘2的紧固螺栓，由液压系统5带动炉底4下降，炉底4和炉桶1脱开后，炉底4坐于液压系统5的液压系统底座52上，液压系统底座52上的滚轮53沿平动滑道6将炉底4和液压系统5一同向前推出。闭合单晶炉的操作与之相反。

也就是说，本实用新型提供的启闭方法是，保持炉桶固定不动，由一液压传动机构带动炉底及与之相连接的零部件一同垂直下降(开启)、上升(闭合)。炉底下降后落在一个液压系统底座上，并籍由液压系统底座上的滚轮沿滑道可以前后移动，有利与更换坩埚，装入原材料和取出生长的晶体。

本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

1、其可减少炉桶的工作高度，节省单晶炉占用的场地空间；同时可使单晶炉的操作更方便灵活。

2、其可减轻起重负载。

3、其可减少制造直拉单晶炉的成本。