[发明专利]正型放射感应性组合物

权利要求书

1．一种正型放射线感应性组合物，它是含有以下成分的正型放射线感应性组合物，

(1)受到酸作用而对碱水溶液的溶解性增大的聚合物A、和/或

(2)碱可溶性聚合物B和具有抑制该聚合物B碱可溶性效果、

且这种抑制效果受到酸作用而降低或消失的化合物、和

(3)受到放射线照射发生酸的化合物其特征在于，该聚合物A或B受到放射线引起主链断裂的容易性大于聚甲基丙烯酸甲酯。

2．权利要求1中所述的正型放射线感应性组合物，其中，将聚合物A作为必要成分。

3．权利要求1中所述的正型放射线感应性组合物，其中，将聚合物B和具有抑制该聚合物B碱可溶性效果，且这种抑制效果受到酸作用而降低或消失的化合物C作为必要成分。

4．权利要求1中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B由放射线产生的主链断裂效率Gs值在2.5以上。

5．权利要求2中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B由放射线产生的主链断裂效率Gs值为3.0～50。

6．权利要求1中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B中，下述通式表示的单体单元A或B的含量在10摩尔％以上：此处，R¹为卤原子或氰基；单体单元B的场合下，R²为氢原子或具有碳原子数2～12的酸性官能团的有机基团；单体单元A的场合下，R²为具有酸分解性基团或酸性官能团的氢原子被1种以上酸分解性基团取代的有机基团。

7．权利要求6中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，单体单元A或B的R¹为卤素。

8．权利要求6中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，单体单元A的酸分解性基团选自叔烷基、1-烷氧基烷基、四氢吡喃基。

9．权利要求3中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，具有抑制该聚合物B碱可溶性效果，且这种抑制效果受到酸作用而降低或消失的化合物C，为选自对苯二酚、邻苯二酚、双酚A、羟苯基醋酸、4-羟基苯磺酸中的化合物其酸性官能团的氢原子被选自1-乙氧基乙基、叔丁基、叔丁氧基羰基、四氢吡喃基中的酸分解性基团取代的化合物。

10．权利要求6中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B中，单体单元A或B的含量在20摩尔％以上。

11．权利要求1中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B的重均分子量，以GPC测定的聚苯乙烯换算，为5000～1500000。

12．权利要求11中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B的重均分子量，以GPC测定的聚苯乙烯换算，为10000～1000000。

13．权利要求12中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，该聚合物A或B的重均分子量，以GPC测定的聚苯乙烯换算，为10000～100000。

14．权利要求1中所述的正型放射线感应性组合物，其特征在于，作为光源使用的放射线为电子射线或X射线。