[发明专利]通过电渗析再生化学镀金属沉积浴液的方法和装置

权利要求书

1．一种通过电渗析再生化学镀金属沉积浴液的方法，该浴液含有次磷酸根离子作为还原剂，其中将浴液液体导通通过具有阴极(Ka)和阳极(An)的第一电渗析单元(E1)的稀释舱室(Di1a、Di1b、…、Di1x)，这些舱室在阴极一侧通过单一选择的阳离子交换隔膜(KS)和在阳极一侧通过阴离子交换隔膜(A)使其与电渗析单元(E1)中的浓缩舱室(Ko1a、Ko1b、…、Ko1x)相分离，稀释舱室(Di1a、Di1b、…、Di1x)和浓缩舱室(Ko1a、Ko1b、…、Ko1x)互相交替排列，其特征在于，将浴液同时导入具有阴极(Ka)和阳极(An₁、An₂)的在第二电渗析单元(E2)中的稀释舱室(Di2a、Di2b、…、Di2x)中，这些舱室在阴极一侧通过单一选择的阴离子交换隔膜(AS)和在阳极一侧通过阴离子交换隔膜(A)使其与第二电渗析单元(E2)中的浓缩舱室(Ko2a、Ko2b、…、Ko2x)相分离，在第二电渗析单元(E2)中的稀释舱室(Di2a、Di2b、…、Di2x)和浓缩舱室(Ko2a、Ko2b、…、Ko2x)互相交替排列。

2．根据权利要求1的方法，其特征在于，将浓缩溶液同时导通通过浓缩舱室(Ko2a、Ko2b、…、Ko2x)。

3．根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，将第一电渗析单元(E1)和第二电渗析单元(E2)组合成共有的电渗析存贮组并这样设置，以将阴极(Ka)仅放置在共有的电渗析存贮组的一个端面，而在另一侧放置阳极(An)。

4．根据权利要求1和2之一的方法，其特征在于，将第一电渗析单元(E1)和第二电渗析单元(E2)组合成一个共有的电渗析存贮组并如此设置：

a．在两个电渗析单元(E1、E2)之间放置了一共有的阴极(Ka)，和在共有的电渗析存贮组(E1、E2)的两个端面分别放置了一个阳极(An1、An2)，或

b．在两个电渗析单元(E1、E2)之间放置了一个共有的阳极(An)，和在共有的电渗析存贮组(E1、E2)的两个端面分别放置了一个阴极(Ka)。

5．根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，将沉积浴的浴液经过稀溶液容器(V_D)导入第一个循环回路和将在稀溶液容器(V_D)中所含的液体经过在第一和第二电渗析单元(E1、E2)中的稀释舱室(Di1a、Di1b、…、Di1x、Di2a、Di2b、…、Di2x)导入第二个循环回路，在第二个循环回路的体积流量比第一个循环回路的体积流量大至少一个数量级，优选大至少两个数量级。

6．根据前述权利要求之一的、通过电渗析再生含有次磷酸根离子作为还原剂的化学镀镍沉积浴液的方法。

7．一种通过电渗析再生含有次磷酸根离子作为还原剂的化学镀金属沉积浴液的装置，该装置包括：

a．一个第一电渗析单元(E1)，它含有两个浓缩舱室(Ko1a、Ko1b)和在它们之间放置的一个稀释舱室(Di1a)作为电解质舱室，稀释舱室(Di1a)在阴极一侧通过一个单一选择的阳离子交换隔膜(KS)与一个浓缩舱室(Ko1b)相分离，和在阳极一侧通过一个阴离子交换隔膜(A)与另一个浓缩舱室(Ko1a)相分离，

b．在第一电渗析单元(E1)中的至少一个阴极(Ka)和至少一个阳极(An)和

c．一个给阴极(Ka)和阳极(An、An₁)供电的电源(S)，

其特征为，

d．一个第二电渗析单元(E2)，它含有两个稀释舱室(Di2a、Di2b)和在它们之间放置的一个浓缩舱室(Ko2a)作为电解质舱室，浓缩舱室(Ko2a)在阴极一侧通过一个阴离子交换隔膜(A)与一个稀释舱室(Di2a)相分离且在阳极一侧通过一个单一选择的阴离子交换隔膜(AS)与另一个稀释舱室(Di2b)相分离，同时有至少一个阴极(Ka)和至少一个阳极(An、An₂)以及一个给阴极和阳极供电的电源(S)。