[发明专利]树脂薄膜的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及树脂薄膜的制造方法。特别是关于将树脂材料蒸发、附着在支持体的表面上，在支持体上形成树脂薄膜的方法。

背景技术

在现代社会中，薄膜的用途非常广泛，比如包装纸、磁带、电容器、半导体等日常生活的各个角落都会用到薄膜。如果没有薄膜，近年来的高性能化或小型化这样的技术的基本方向就无从谈起。与此同时，人们对以满足工业所需形状形成薄膜的方法也作过种种探索，例如在包装纸、磁带、电容器等用途方面，进行利于高速大量生产的连续卷取的真空镀敷。这时，在选择形成蒸发材料和基板材料的合乎要求的薄膜的同时，还要根据需要向真空槽内导入反应气体，或者，通过在基板上设置电位的状态下形成薄膜，可形成具有所希望的特性的薄膜。

作为形成树脂薄膜的方法，已知的方法是，把用溶剂稀释的树脂材料涂敷在支持体上得到树脂薄膜。作为涂敷手段，一般来说，工业上采用逆向涂层、增粘涂层，涂敷加工后进行干燥硬化。用一般的涂敷加工手段，由于涂敷加工后的涂敷厚度在数个μm以上，所以，如果要形成极薄的树脂膜，就必须用溶剂稀释。但是，由此得到的树脂薄膜膜厚的下限根据所使用的材料大多情况下为1μm左右，更多场合下不能得到该值以下的膜厚。进一步，在进行溶剂稀释和干燥后的涂膜中，随着溶剂的蒸发很容易产生缺陷，而且，从环境保护的观点出发也不合适。因此，希望得到一种即使不进行溶剂稀释也能形成树脂薄膜的方法以及能稳定地得到没有缺陷的极薄的树脂薄膜的方法。

作为解决上述问题的方法，曾经提出在真空中形成树脂薄膜的方法。例如，欧洲专利公开第0808667号中就揭示了这样一种方法，在真空中向加热体供给树脂材料，对树脂材料加热汽化后，将其附着在移动的支持体上，在支持体上连续地形成树脂薄膜。如果使用这种方法，可形成无空隙缺陷的树脂薄膜，同时，也不需要进行溶剂稀释。

可是，上述欧洲专利公开第0808667号所揭示的方法不能使树脂材料的蒸发量稳定，不能得到厚度均匀的树脂薄膜。并且，得到的树脂薄膜的物性不稳定，也不能得到所希望物性的树脂薄膜。特别是，对用于电子部件用途的树脂薄膜的特性要求越来越高度化，上述问题的存在使制品的成品率降低，并招致了费用的抬高。

本发明者针对解决上述以往薄膜制造方法的问题点进行了锐意探索的结果，查明了上述问题点主要是由树脂材料向加热体的供给方法引起的。

即，以往的树脂材料向加热体的供给是利用超声波振动器、喷雾喷嘴或者机械雾化装置将树脂材料雾化后供给加热体的。

但是，使用超声波振动器的雾化，要长时间稳定地雾化树脂材料是很困难的，另外，雾化时施加到树脂材料上的机械外力会使树脂材料发热，有可能变质并且在雾化前固化。一旦树脂材料变质，不仅蒸发量不稳定，而且也得不到所希望的物性值的树脂薄膜。另外，导致设备价格高昂，不能得到廉价的树脂薄膜。

使用喷雾喷嘴的雾化不适于粘度大的树脂材料，也会给可使用的树脂材料带来限制。另外，由于通过雾化的树脂材料粒子比较大，在树脂供给量比较少的场合，进行稳定的雾化是很困难的。因此，稳定地形成厚度薄的树脂薄膜非常困难。

另外，使用机械雾化装置进行的雾化在雾化时施加到树脂材料上的外力增大，随之树脂材料发热，不仅会引起树脂材料变质，而且雾化前可能产生固化。并且，与使用喷雾喷嘴的场合同样，由于得到的树脂材料的粒子比较大，稳定地形成厚度薄的树脂薄膜非常困难。

发明的公开

本发明的目的是提供一种树脂薄膜的制造方法，代替以往的树脂供给方法，采用新的树脂供给方法，解决上述以往技术所存在的问题，使用简单的手段，能稳定、廉价地得到有均匀厚度的树脂薄膜。

为了完成上述目的，本发明采用下述构成。

即是说，本发明第一构成的树脂薄膜的制造方法为一种把蒸发的树脂材料附着在支持体的表面上、制造出树脂薄膜的方法，用双流体喷嘴压送液体状态的树脂材料与气体，用上述双流体喷嘴以雾状向加热体喷出上述树脂材料，使上述树脂材料附着在上述加热体上，通过在上述加热体上让上述树脂材料蒸发，得到经过上述蒸发的树脂材料。

此外，本发明的第二构成的树脂薄膜的制造方法为一种把蒸发的树脂材料附着在支持体的表面上、制造出树脂薄膜的方法，把气体与液体状态的树脂材料相混合，以雾状向置于减压下的加热体喷出，附着在上述加热体上，通过在上述加热体上让上述树脂材料蒸发，得到经过上述蒸发的树脂材料。