[发明专利]集成电路芯片的保护方法无效
申请号: | 99815562.4 | 申请日: | 1999-12-23 |
公开(公告)号: | CN1333919A | 公开(公告)日: | 2002-01-30 |
发明(设计)人: | O·布鲁尼特;D·埃尔巴茨;B·卡尔瓦斯;P·帕特里斯 | 申请(专利权)人: | 格姆普拉斯公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 罗朋,张志醒 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 芯片 保护 方法 | ||
1.硅晶片(10)上的集成电路芯片(100)的保护方法,晶片有其上设有集成电路芯片的正面和相对的背面,其特征是,方法包括以下步骤:
切割硅晶片(10),把集成电路芯片(100)分开;
晶片的背面(104)上加流体绝缘材料(150),用薄的绝缘层覆盖每个集成电路芯片(100)的侧面(106)。
2.按权利要求1的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,它还包括传输切割晶片(10)的步骤,使晶片(10)的背面(104)朝上,把晶片(10)输送到支架(110)上,保证在加绝缘材料(150)的过程中选择芯片(100)。
3.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过用喷涂法在芯片(100)的背面(104)上来施加绝缘材料(150)。
4.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过用刮板(200)和丝网(200)的丝网印刷法在芯片(100)的背面(104)上来施加绝缘材料(150)。
5.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过用浇注法在芯片(100)的背面(104)上来施加绝缘材料(150)。
6.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过把芯片(100)浸入装有绝缘材料(150)的料槽(300)中来施加绝缘材料(150)。
7.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过将所述芯片(100)放在旋转盘上来把绝缘材料(150)分布在芯片(100)的背面(104)上,来施加绝缘材料(150)。
8.按权利要求1至7中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)有低粘度,使绝缘材料(150)能沿芯片(100)的侧面(104)流动。
9.按权利要求1至8中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)由有高硬度的和对硅有好粘接性的氧类树脂构成。
10.按权利要求1至9中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)由有低干萃取物的绝缘天然漆构成,形成薄的绝缘涂层。
11.按权利要求1至10中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)用彩色树脂构成,以允许选择用绝缘材料(150)覆盖的面积。
12.按权利要求11的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,用计算和辅助观察(CAV)检查用绝缘材料(150)覆盖的面积。
13.按前述任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,它包括以下步骤:
-硅晶片(10)的背面(104)上淀积保护层(115);
-切割硅晶片(10),分开每个集成电路芯片(100);
-使分开的集成电路芯片(100)的背面(104)朝上,把芯片(100)输送到支架(110)上;
-除去背面(104)上的保护层(115);
-芯片(100)的背面(104)和侧面上加绝缘材料;
-从支架(110)上取下芯片(100);
-连接芯片(100)。
14.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,硅晶片(10)的背面保护层(115)包括在紫外线下能降解的粘接剂,所述粘接剂在晶片(10)切割步骤之后降解并被剥离除去。
15.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,支架(110)在加了绝缘材料(150)后在紫外线辐射下能降解的粘接剂。
16.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,破碎位于支架(110)上的芯片(100)之间的绝缘材料(150),取出芯片(100)。
17.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,切割支架(110)取出芯片(100)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造