[发明专利]集成电路芯片的保护方法无效

专利信息
申请号: 99815562.4 申请日: 1999-12-23
公开(公告)号: CN1333919A 公开(公告)日: 2002-01-30
发明(设计)人: O·布鲁尼特;D·埃尔巴茨;B·卡尔瓦斯;P·帕特里斯 申请(专利权)人: 格姆普拉斯公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 罗朋,张志醒
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 芯片 保护 方法
【权利要求书】:

1.硅晶片(10)上的集成电路芯片(100)的保护方法,晶片有其上设有集成电路芯片的正面和相对的背面,其特征是,方法包括以下步骤:

切割硅晶片(10),把集成电路芯片(100)分开;

晶片的背面(104)上加流体绝缘材料(150),用薄的绝缘层覆盖每个集成电路芯片(100)的侧面(106)。

2.按权利要求1的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,它还包括传输切割晶片(10)的步骤,使晶片(10)的背面(104)朝上,把晶片(10)输送到支架(110)上,保证在加绝缘材料(150)的过程中选择芯片(100)。

3.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过用喷涂法在芯片(100)的背面(104)上来施加绝缘材料(150)。

4.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过用刮板(200)和丝网(200)的丝网印刷法在芯片(100)的背面(104)上来施加绝缘材料(150)。

5.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过用浇注法在芯片(100)的背面(104)上来施加绝缘材料(150)。

6.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过把芯片(100)浸入装有绝缘材料(150)的料槽(300)中来施加绝缘材料(150)。

7.按权利要求1或2的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,通过将所述芯片(100)放在旋转盘上来把绝缘材料(150)分布在芯片(100)的背面(104)上,来施加绝缘材料(150)。

8.按权利要求1至7中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)有低粘度,使绝缘材料(150)能沿芯片(100)的侧面(104)流动。

9.按权利要求1至8中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)由有高硬度的和对硅有好粘接性的氧类树脂构成。

10.按权利要求1至9中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)由有低干萃取物的绝缘天然漆构成,形成薄的绝缘涂层。

11.按权利要求1至10中任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,绝缘材料(150)用彩色树脂构成,以允许选择用绝缘材料(150)覆盖的面积。

12.按权利要求11的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,用计算和辅助观察(CAV)检查用绝缘材料(150)覆盖的面积。

13.按前述任一权利要求的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,它包括以下步骤:

-硅晶片(10)的背面(104)上淀积保护层(115);

-切割硅晶片(10),分开每个集成电路芯片(100);

-使分开的集成电路芯片(100)的背面(104)朝上,把芯片(100)输送到支架(110)上;

-除去背面(104)上的保护层(115);

-芯片(100)的背面(104)和侧面上加绝缘材料;

-从支架(110)上取下芯片(100);

-连接芯片(100)。

14.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,硅晶片(10)的背面保护层(115)包括在紫外线下能降解的粘接剂,所述粘接剂在晶片(10)切割步骤之后降解并被剥离除去。

15.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,支架(110)在加了绝缘材料(150)后在紫外线辐射下能降解的粘接剂。

16.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,破碎位于支架(110)上的芯片(100)之间的绝缘材料(150),取出芯片(100)。

17.按权利要求13的集成电路芯片(100)的保护方法,其特征是,切割支架(110)取出芯片(100)。

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