[发明专利]图案缺陷检测方法无效

专利信息
申请号: 00108792.4 申请日: 2000-06-02
公开(公告)号: CN1276577A 公开(公告)日: 2000-12-13
发明(设计)人: 胁谷康一;汤川典昭 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: G06K9/20 分类号: G06K9/20
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 孙敬国
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明揭示一种图案缺陷检测方法,是在这种预先登记正品图案,并对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中,比较正品图案和对象图案,检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案,并利用缺陷图案的轮廓线特征,分类检测缺陷图案。本发明提供能对各种图案缺陷进行分类并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。
搜索关键词: 图案 缺陷 检测 方法
【主权项】:
1.一种图案缺陷检测方法,预先登记正品图案,并对输入的对象图案和正品图案进行比较,其特征在于,比较正品图案和对象图案,检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案,并利用缺陷图案的轮廓线特征,分类检测缺陷图案。
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