[发明专利]半导体工厂自动化系统及用于控制测量设备的方法无效
| 申请号： | 00122213.9 | 申请日： | 2000-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1279424A | 公开（公告）日： | 2001-01-10 |
| 发明（设计）人： | 河圣海;曹荣洙;高明载 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | G06F9/00 | 分类号： | G06F9/00;G06F13/00;G06F17/00;H01L21/66;H01L21/00 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 黄敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 控制在半导体工厂自动化系统中测量半导体晶片的测量设备的方法,包括在操作者接口服务器和测量设备间,建立从离线通信模式至在线通信模式的通信模式;将容纳半导体晶片的半导体晶片盒装至测量设备;向测量设备发送测量方法和由操作者直接输入的命令;根据测量方法,测量在半导体晶片盒中的半导体晶片,以产生测量数据;比较测量数据和基准数据,以判定测量数据是否一致;如测量数据不一致,命令测量设备再次测量半导体晶片;和将测量数据存储于实时数据库中。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工厂 自动化 系统 用于 控制 测量 设备 方法 | ||
【主权项】：
1．一种半导体工厂自动化(FA)系统，包括：测量装置，用于根据测量方法测量容纳于半导体晶片盒中的半导体晶片，由此产生测量数据，其中，所述测量装置根据通信模式转换命令将通信模式从离线通信模式转换为在线通信模式，并且测量方法代表与半导体晶片盒对应的一组测量条件；操作者接口装置，用于将测量方法和由操作者直接输入的命令发送至所述测量装置，其中，命令包括控制所述测量装置的控制命令，并且控制命令包括通信模式转换命令；和存储装置，它耦连至所述操作者接口装置，用于存储测量数据，其中，操作者将半导体晶片盒装至所述测量装置；将测量数据与基准数据相比较以判定测量数据是否是一致的；并且如果测量数据不一致，命令所述测量装置再次测量半导体晶片。
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