[发明专利]用于胶合两个基片的方法和装置无效
申请号: | 00137450.8 | 申请日: | 1998-04-02 |
公开(公告)号: | CN1316330A | 公开(公告)日: | 2001-10-10 |
发明(设计)人: | K·维伯尔;U·施贝尔 | 申请(专利权)人: | 施蒂格哈马技术股份公司 |
主分类号: | B32B31/12 | 分类号: | B32B31/12;G11B7/26 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 章社杲 |
地址: | 联邦德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 将两个基片(3,6)胶合成一个基片圆盘(23)用的方法,按此方法将一种胶合剂涂敷在一个第一基片(3,6)的一个待胶合的面上,并将一个第二基片(6,3)以它的待胶合的面放置在第一基片(3,6)上,可实现基片特别良好的、均一的和快速的胶合,没有空气夹杂物,而且只用简单的装置,为此将基片(3,6)围绕其中轴线加以旋转以达到离心甩出胶合剂的目的。还涉及到为实施本方法所用的一些装置。 | ||
搜索关键词: | 用于 胶合 两个 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.将两个基片(3,6)胶合成一个基片圆盘(23)用的方法,按此方法将一种胶合剂涂敷在一个第一基片(3)的一个待胶合的面上,而将一个第二基片(6)以它的待胶合的面放置在第一基片上,并按此方法将两个基片(3,6)围绕其中轴线加以旋转以达到离心甩出开胶合剂的目的,于此,基片(3,6)中的至少一个在放置到另一个基片(6,3)上去时加以弯曲,使其边缘部位与另一个基片(6,3)相离开,其特征在于:为弯曲至少一个基片(6,3)所用的一个内夹紧器(41)和一个外夹紧器(42)是彼此对向地移动的。
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