[实用新型]沉积类金刚石薄膜的镀膜机无效
| 申请号： | 00216701.8 | 申请日： | 2000-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN2408126Y | 公开（公告）日： | 2000-11-29 |
| 发明（设计）人： | 楼祺洪;黄峰;李铁军;董景星;魏运荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种沉积类金刚石薄膜的镀膜机,包括壁上带有两个透光窗口的真空室,真空室内置有靶材和待沉积薄膜基底。置于真空室外有用激光器作为光源发射光束经过分束镜分成两束光,一束为消融沉积光束经第一聚焦透镜过第一透光窗口会聚到真空室内的靶材上。一束为扫描光束经反射镜,第二聚焦透镜,旋转反射镜透过第二透光窗口会聚到真空室内的基底上。具有结构简单,易于操作,获得的薄膜质量优良,均匀而牢固。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 金刚石 薄膜 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种沉积类金刚石薄膜的镀膜机，包括壁上带有第一透光窗口(401)，观察窗口(402)，排气口(403)，和第二透光窗口(404)的真空室(4)；真空室(4)内有置于旋转支架(7)上的靶材(6)和待沉积薄膜基底(5)；其特征在于：置于真空室(4)外有光轴对准真空室(4)壁上第一透光窗口(401)中心的光源(1)，由光源(1)发射的光束(G)经置于光源(1)与第一透光窗口(401)之间的分束镜(2)将光束(G)分成消融沉积光束(G1)和扫描光束(G2)；由分束镜(2)透过的光束为消融沉积光束(G1)经过置于分束镜(2)与第一透光窗口(401)之间的第一聚焦透镜(3)透过第一透光窗口(401)会聚到置于真空室(1)内的靶材(6)上；由分束镜(2)反射的光束为扫描光束(G2)，经过反射镜(11)，第二会聚透镜(10)和置于旋转镜架(8)上的旋转反射镜(9)透过第二透光窗口(404)会聚到置于真空室(4)内的待沉积薄膜基底(5)上。
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