[发明专利]液体输入输出控制装置及方法无效
| 申请号： | 01110233.0 | 申请日： | 2001-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1378236A | 公开（公告）日： | 2002-11-06 |
| 发明（设计）人： | 陈廷国;俞笃豪;郭文进 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种液体输入输出控制装置及方法,该装置由基座、两管衔结构、一透明长管以及一透明短管所构成;基座上具有复数个孔洞,经由两管衔结构,再分别连接到一透明长管以及一透明短管;该液体输入输出控制装置与预置槽结合,使得透明长管与透明短管位于预置槽内部,分别用以将一液体输出和一添加液输入;由于本发明以透明材质的管路,所以可以随时监控内部管壁上液体残留的状况,以便随时清洗保持畅通。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 输入输出 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，此用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括：一基座，其上具有至少一孔洞；一管衔结构，具有一第一端口与一第二端口，该管衔结构的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合；以及一透明长管，供一液体通过，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该管衔结构的第二端口，而第二管口设置于该预置槽内部，而得以将一原液输出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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