[发明专利]具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统无效
| 申请号： | 01110411.2 | 申请日： | 2001-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1378259A | 公开（公告）日： | 2002-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张国勇 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 穆魁良 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统,使用复数测试频道对复数待测管芯进行测试,包括一编码装置一测试装置及一辨识装置;其中,编码装置产生每一待测管芯的识别码且每一识别码与每一测试频道相对;测试装置对待测管芯进行测试而读取并转送每一待测管芯的测试结果与识别码;辨识装置自测试装置接收每一待测管芯的测试结果与识别码,并依据识别码,将每一待测管芯的测试结果输出至一相对测试频道;本系统可免除因接线错误而使测试结果不正确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 辨识 功能 半导体 管芯 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统，包括对复数待测管芯进行测试的复数测试频道，其特征在于：它包括：一产生每一待测管芯的识别码且将每一识别码与每一测试频道相对的编码装置；一对该些待测管芯进行测试而读取并转送每一待测管芯的测试结果与识别码的测试装置；一自该测试装置接收每一待测管芯的测试结果与识别码、并依据该些识别码将每一待测管芯的测试结果输出至一相对测试频道的辨识装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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