[发明专利]具有防止管壁堵塞功能的芯片洗净设备

摘要

一种芯片洗净设备,它增设有一自动清洗装置,可相应排液动作的触发使供气管路停止将气体通入洗净溶液,而将可溶解供气管路中的析出微粒的清洗液供入供气管路以进行管壁清洗,并切断压力式液面传感器输出至洗净溶液储存装置的液面高度信号,而于清洗完毕后使清洗液停止进入供气管路而停止管壁清洗,使气体重新进入供气管路,并恢复压力式液面传感器所输出至所述洗净溶液储存装置的液面高度信号,以通过管壁自动清洗而防止管壁堵塞。

主权项

1.一种具有防止管壁堵塞功能的芯片洗净设备，包括：一洗净溶液储存装置，储存一洗净溶液，当所清洗的芯片数到达一预设数目，则所述洗净溶液储存装置进行一排液动作；一供气管路，将一气体通入至所述洗净溶液中，所述供气管路中的气压，是随所述洗净溶液的液面高度而变化；一压力式液面传感器，连接于所述供气管路，相应所述供气管路中的气压变化，发出一液面高度信号至所述洗净溶液储存装置；其特征在于，还包括：一自动清洗装置，相应所述排液动作的触发，使所述供气管路停止将气体通入所述洗净溶液中，而向所述供气管路提供可溶解堵塞于所述供气管路中的析出微粒的清洗液以进行管壁清洗，并切断所述压力式液面传感器所输出至所述洗净溶液储存装置的所述液面高度信号，而于清洗完毕后使清洗液停止进入所述供气管路而停止管壁清洗，使气体重新进入所述供气管路并恢复所述压力式液面传感器向所述洗净溶液储存装置输出的所述液面高度信号，以通过管壁自动清洗而防止管壁堵塞。