[发明专利]液体处理装置

摘要

一种液体处理装置,具有配有保持基板的保持机构和使保持机构旋转的旋转装置的基板旋转装置;为使保持在保持机构上的基板基本上垂直或基本上水平、变换基板旋转装置的姿势的姿势变换机构;对保持在保持机构上的基板进行规定的液体处理的处理腔室;为把保持机构容纳在处理腔室内、相对地调节处理腔室与保持机构的位置的位置调节机构。从基本上水平的容纳基板的容器内取出基板将其保持在保持机构上,使保持基板的保持机构变换姿势使基板基本上处于垂直状态,一面旋转基板一面向基板供应处理液体进行液体处理。

主权项

1、液体处理装置，在向基板供应处理液体进行液体处理的液体处理装置中，配备有：具有保持基板的保持机构及使前述保持机构旋转的旋转装置的基板旋转装置；为了使保持在前述保持机构上的基板大致垂直或大致水平、变换前述基板旋转装置的姿势的姿势变换机构；对基本上垂直地保持在前述保持机构上的基板进行规定的液体处理的处理腔体，为将前述保持机构容纳在前述处理腔室内相对地调节前述处理腔室及前述保持机构的位置的位置调节机构。