[发明专利]一种压电谐振器制造方法无效
申请号: | 01135461.5 | 申请日: | 1997-04-29 |
公开(公告)号: | CN1395367A | 公开(公告)日: | 2003-02-05 |
发明(设计)人: | 宇波俊彦;竹岛哲夫;马场俊行;草開重雅;吉野博秀;井上二郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/54 | 分类号: | H03H9/54 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 陈亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种压电谐振器具有层叠压电层和电极形成的基体元件。基体元件在电极两侧以不同的方向进行极化。电极在形成在基体元件的凹槽两侧上分别由绝缘膜16和绝缘膜18交替覆盖。绝缘膜16覆盖绝缘膜18没有覆盖的电极,反之亦然。外电极20和22形成在基体元件上的凹槽两侧上,电极与它们相连接。在外电极的纵向中心处形成由导电材料制成的支持件24。 | ||
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【主权项】:
1、一种压电谐振器(10)的制造方法,其特征在于,所述方法包含下列步骤:1)准备多个压电层和多个内电极(36)叠合的层叠件(42),2)在所述层叠件(42)的一面上部分地形成绝缘膜(44),使所述内电极(36)的端部暴露,3)在所述层叠件(42)的所述表面上形成外电极(20,22),4)垂直于所述层叠件(42)的所述表面切割所述层叠件(42)。
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