[实用新型]曝光机的电路板对位装置无效
| 申请号： | 01218815.8 | 申请日： | 2001-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN2475052Y | 公开（公告）日： | 2002-01-30 |
| 发明（设计）人： | 张鸿明 | 申请（专利权）人： | 川宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁,顾红霞 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种曝光机的电路板对位装置,其包括两组并设于曝光框底框外端的微调机构,在一移动的平板上纵横设置微型精密伺服滑台,并择一滑台设置一具伸缩弹性的对位销,且底框的玻璃面对应对位销设有穿孔;将上、下底片及电路板设相互对位用的标靶,电路板相对对位销设对位孔;一CCD影像拾取系设置于曝光框下方预定处,并藉其所摄取的标靶叠合影像,控制微调机构纵横设置的微型精密伺服滑台动作。具有对位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 电路板 对位 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机的电路板对位装置，其包括有：两组并设于曝光框底框外端底缘面的微调机构，其于一可移动的平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台，其中，第一伺服滑台带动平板位移，而设于平板内侧的第二伺服滑台则带动一延伸板位移，并于延伸板端部设置一具有上下伸缩弹性的对位销，且该底框的玻璃面对应该对位销设有供其穿伸且具游移空间的穿孔；将上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶，电路板相对对位销设有对位孔；一CCD影像拾取系统，其将摄像机设置于曝光框下方预定处。
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