[发明专利]缺陷知识库无效
申请号: | 01802982.5 | 申请日: | 2001-10-02 |
公开(公告)号: | CN1392954A | 公开(公告)日: | 2003-01-22 |
发明(设计)人: | 阿莫斯·多尔;马亚·拉德辛斯基 | 申请(专利权)人: | 应用材料有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;H01L21/66 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 创建含有半导体晶片上晶片缺陷的研究案例信息的缺陷知识库的方法和相关装置。该方法包括创建一个数据库条目并且存储数据库条目以备以后访问,其中上述数据库条目含有一个指定缺陷的一个研究案例,上述研究案例包含缺陷信息而上述缺陷信息包括一或多个缺陷图像。数据库条目被存储在一个服务器上并且可以被多个客户端访问。 | ||
搜索关键词: | 缺陷 知识库 | ||
【主权项】:
1.创建缺陷知识库的方法,包括:创建一个数据库条目,该数据库条目包括一个指定缺陷的一个研究案例,该研究案例包含含有一或多个缺陷图像的缺陷信息;和存储数据库条目以备以后访问。
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