[发明专利]倾斜式除液装置

摘要

本发明涉及倾斜式除液装置，其目的在于提供在通过基板(10)的倾斜，从基板上排除处理液的倾斜式除液装置中，即使在处理液的粘度高的情况下，也不增大基板(10)的倾斜角度，就能够从基板上高效率地排除处理液的装置。为了实现该目的，在使传送滚轮(41)上的基板(10)向传送方向侧方倾斜的除液装置主体(42)的一侧部上，设置除液促进机构(43)。除液促进机构(43)有在基板(10)的传送方向上以规定间隔排列的多个接触部件(43a)，在基板(10)以规定角度向侧方倾斜时，通过使所述接触部件(43a)接触基板(10)的倾斜方向下游侧的侧缘部上积存的处理液，从侧缘部除去处理液。

主权项

1.一种倾斜式除液装置，其特征在于，包括：除液装置主体，被配置在将基板向水平方向传送的同时向该基板的表面供给处理液处理该基板表面的传送式的基板处理传送线内，通过使基板倾斜，将处理液从基板上排除；以及除液促进机构，被配置在基板的倾斜方向下游侧，通过在基板的侧缘部整个长度上以规定间隔接触或接近的多个液体接触部件，来促进从基板上排除处理液，以便与随着基板的倾斜向倾斜方向下游侧流动滞留的基板上的处理液接触。