[发明专利]药液涂敷方法及其涂敷装置无效
| 申请号： | 02141280.4 | 申请日： | 2002-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1396007A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 前园武志 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/36 | 分类号： | B05D1/36;B05C5/00;B05C11/10;B05D3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏,袁炳泽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种药液涂敷方法及其涂敷装置。在液晶用玻璃基板这样的尺寸大的基板上涂敷药液时，通过设置能够流动漫延到基板上的药液抑止充分进行的药液抑止部件，从而在涂敷的药液中不产生不匀。其特征在于，在凸缘部(1)内，包括运送基板(6)的运送滚轮(5)；向运送中的基板(6)上下滴药液的下滴喷嘴(7)；设置在比下滴喷嘴(7)的位置靠近相对于基板的行进方向的上流侧位置的滚轮(10)(初次药液抑止部件)；以及设置在比滚轮(10)更靠近相对于行进方向的上流侧位置的气刀(8)(总药液抑止部件)。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种药液涂敷方法，向沿一定方向按一定速度行进的基板涂敷药液，其特征在于：从与所述基板表面相对配置的下滴喷嘴向所述基板表面下滴药液，使用第1药液抑止部件和第2药液抑止部件这两级使向所述基板表面的上流侧流动的所述药液抑止，其中，所述第1药液抑止部件被设置在比所述下滴喷嘴的位置靠近相对于所述基板的行进方向的上流侧位置，所述第2药液抑止部件被设置在比所述第1药液抑止部件更靠近相对于行进方向的上流侧位置。
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