[实用新型]一种适用于真空微蒸发镀的装置无效
| 申请号： | 02229150.4 | 申请日： | 2002-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN2536598Y | 公开（公告）日： | 2003-02-19 |
| 发明（设计）人： | 司勇;司洪业 | 申请（专利权）人： | 司勇 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450006 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于真空微蒸发镀的装置，包括真空泵，与所述真空泵通过管道相连通的扩散泵，以及通过带有阀门的管道与所述扩散泵相连通的镀覆室，在位于所述阀门与所述镀覆室之间的管道上设置有一用于向所述镀覆室内充以惰性气体的充气阀。由于采用上述结构，使得当出现意外停电或所述真空泵出现故障停止工作时，操作人员可迅速打开所述充气阀向镀覆室内充以惰性气体将正在镀覆的金刚石与空气隔绝开，杜绝了金刚石被氧化现象的发生，从而避免因上述原因而给用户造成经济损失。同时，由于在所述镀覆室内充以惰性气体而使得镀覆金刚石的工作得以继续进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 真空 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1、一种适用于真空微蒸发镀的装置，它包括真空泵(1)，与所述真空泵(1)通过管道(2)相连通的扩散泵(3)，以及通过带有阀门(4)的管道(5)与所述扩散泵(3)相连通的镀覆室(6)，其特征在于：在位于所述阀门(4)与所述镀覆室(6)之间的管道(5)上设置有一用于向所述镀覆室(6)内充以惰性气体的充气阀(7)。
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