[其他]电子器件的制造方法在审
申请号: | 101985000008626 | 申请日: | 1985-10-28 |
公开(公告)号: | CN1004245B | 公开(公告)日: | 1989-05-17 |
发明(设计)人: | 山崎舜平;伊藤健二;永山进 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | 分类号: | ||
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 刘晖 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体器件制造方法,其中至少包括一步是形成被刻图形的层,该层可以是导电金属层,透明导电层和不透明导电层的或反射的得叠层,或非单晶半导体层;另一步是用波长为400毫微米或更短的激光束在绘有图形层部分刻出图形,这些层可以是刻有图形的导电金属层,刻有图形的透明导电层和非透明的或反射导电层的重叠层,或刻有图形的非单晶半导体层。本发明的优点在于形成的刻有图形层上没有任何缺陷。 | ||
搜索关键词: | 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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