[发明专利]电渗透泵和微通道无效
| 申请号： | 200380106159.1 | 申请日： | 2003-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101427368A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | S·金;R·S·利斯特;J·马维蒂;A·迈尔斯;Q·伍;R·帕拉舍尔;R·马哈延 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473;F04B19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨 凯;张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明一般涉及微电子技术，更具体地说，涉及用于利用电渗透泵和微通道来冷却有源电子器件的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 渗透 通道 | ||
【主权项】：
1. 一种装置，它包括：发热层，它包括多个发热器件；以及第一冷却层，它包括：微通道，它允许流体流过该微通道；以及多个电渗透泵，它们便利于所述流体流过所述微通道；其中所述第一冷却层与所述发热层结合。
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