[发明专利]具有改良强度的功率半导体装置无效
申请号: | 200510091561.8 | 申请日: | 2005-08-23 |
公开(公告)号: | CN100382333C | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
发明(设计)人: | 金钟旼 | 申请(专利权)人: | 敦南科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张龙哺;郑特强 |
地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明所公开的功率半导体由一n+漏极区域;一n-外延区域;p基体与p+基体区域,于n-外延区域之上形成一条纹状配置;一n°外延区域,形成于n-外延区域之上与介于p基体与p+基体区域之间;一P型边缘区域,围绕p+基体区域并连接该p+基体区域的两端;一n+源极区域,形成于该p基体区域两端;栅极介电质,形成于n+基体区域、p-基体区域,以及n°外延区域之上;以与门极电极,形成于栅极介电质之上,等等所组成,特别是本发明的功率半导体的P型边缘区段由多重子区域所组成,以避免不平整电流集中在p+基体区域,并借此提升功率半导体的强度。 | ||
搜索关键词: | 具有 改良 强度 功率 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种具有改良强度的功率半导体,包含:一功率半导体,具有一传导型态一的漏极区域;一传导型态一的主要外延区域,布置于该漏极区域之上;多重的传导型态二的主要与次要基体区域,以一条纹状配置布置于该主要外延区域之上;一传导型态一的次要外延区域,形成于主要基体区域之间;一传导型态二的边缘区域,围绕次要基体区域,并连接至次要基体区域的两端;多重的传导型态一的源极区域,形成于主要基体区域的一特定区域之内;栅极介电质,形成于源极区域、主要基体区域,以及次要外延区域之上;以及该边缘区域由多重子区域形成。
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