[发明专利]图案检视中偶生缺陷的验证有效
| 申请号： | 200580006501.X | 申请日： | 2005-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101300473A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 杰可伯·尼迪维 | 申请（专利权）人： | 以色列商奥宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 薛平 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明披露一种用于验证电路图案中缺陷的系统与方法，其包括在自动化检视部件处识别候选缺陷之后将多个类似的电路图案供应至缺陷验证部件；将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；以及回应于给定候选缺陷在至少两个电路图案上实质对应的位置处重现而标记候选缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 检视 中偶生 缺陷 验证 | ||
【主权项】：
1.一种用于验证电路图案中缺陷的方法，其特征是包含：在自动化检视部件处识别候选缺陷之后，将多个类似的电路图案供应至缺陷验证部件；将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；以及回应于给定候选缺陷在至少两个电路图案上实质对应的位置的重现而标记候选缺陷。
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