[发明专利]包括应力灵敏元件的半导体结构以及于半导体结构中测量应力的方法有效
| 申请号： | 200580017142.8 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101076891A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | E·朗格尔;E·哲奇 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种半导体结构包括应力灵敏元件。该应力灵敏元件的特性为表示在该半导体结构内之应力。此外，该半导体结构可以包括电性元件。该应力灵敏元件及该电性元件包括部分共同的结构层。分析仪可以适于确定表示在该半导体结构内的应力的该应力灵敏元件之特性及该电性元件的特性。该应力灵敏元件的特性可以确定并且该制造工艺可以依据该应力灵敏元件的确定的特性而作修正。该电性元件之特性可以与该应力灵敏元件的特性产生关联以研究应力在该电性元件上的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 应力 灵敏 元件 半导体 结构 以及 测量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体结构，包括：应力灵敏元件，该应力灵敏元件的特性表示在该半导体结构(100)内的应力状况；以及电性元件(110)，其中该应力灵敏元件及该电性元件(110)包括共同层结构(107)的部分。
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