[发明专利]基板保持结构

摘要

本发明提供一种基板保持结构，即使作为弹性材料使用橡胶时也能够达到所要求的保持面侧的平面度。在保持面(1)上分散地凹入设置多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央，朝向基板(D)突出而安装比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使这些两者成为一体，通过使如此分散配置的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上以平坦状进行平面承接并进行保持，从而，在由弹性材料构成的平面承接板(4)的厚度尺寸上发生偏差时，随着厚度尺寸大的平面承接板(4′)与基板(D)接触，其固定板(3)或该平面承接板(4′)朝向空隙部(2)弹性变形，使该弹性变形逃脱到空隙部(2)，由此，厚度尺寸大的平面承接板(4′)沉入到空隙部(2)侧，从而与其他的平面承接板(4)形成平坦化。

主权项

1.一种基板保持结构，其相对于保持面(1)在分散的多个部位对基板(D)进行平面承接，从而在确保平坦度的同时进行保持，其特征在于：在上述保持面(1)上分散地凹入设置有多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央处、朝向基板(D)突出地安装有比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使该固定板(3)及平面承接板(4)形成一体化，通过使这些分散的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上而以平坦状进行平面承接并进行保持，同时，将上述空隙部(2)作为被一体化的固定板(3)及平面承接板(4)的弹性变形的逃逸空间加以利用。