[发明专利]具有标线器平台安全结构的方法及其装置无效
| 申请号： | 200580028234.6 | 申请日： | 2005-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN101080668A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 菲力普斯·阿尔汤·修 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03B27/58 | 分类号： | G03B27/58 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 左一平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明揭示一种具有一平台标线器安全结构的装置及方法。该装置包含一标线器平台及一光学平台。该标线器平台支撑一标线器且能够在x－y－z方向中移动该标线器。该光学平台包含：多数个组件，其用以将自该标线器所反射之光引导至一晶圆基板上；及一安全结构，其用以移动该光学平台之一或多个组件离开该标线器平台。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 标线 平台 安全 结构 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光微影装置，其特征在于，包括：一标线器平台，其用以支撑一标线器并能够在x-y-z方向中移动所述标线器；以及一光学平台，其包含：多数个组件，其用以将自所述标线器反射的光引导至一晶圆基板上；及一安全结构，其用以移动所述光学平台的一或多个组件离开所述标线器平台。
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