[发明专利]衬底处理装置

摘要

一种衬底处理装置，具备四方用侧壁(2b～2e)包围、上部开口的有底的容器组成的处理槽(1)，和供给此处理槽(1)处理液的第1、第2供给喷嘴管(10a～10d)，其特征在于，上述第1、第2供给喷嘴管(10a～10d)，分别由中空筒状体、在长方向的侧面上以规定间隔排列成1列的具有多个喷射口(11)的供给喷嘴管组成，其中第1供给喷嘴管(10b、10d)，使其喷射口相对于水平方向以规定角度倾斜，向下方倾斜，第2供给喷嘴管(10a、10c)，使其喷射口相对于水平方向以规定角度倾斜，向上方倾斜，在上述处理槽的一侧壁面(2b)上空开规定间隔，设置成大致水平。本发明提供一种使处理槽内的处理液不滞流、能够进行均一的衬底的处理，还极易除去微粒的衬底处理装置。

主权项

1、一种衬底处理装置，具备四方用侧壁包围、上部开口的有底的容器组成的处理槽，和供给此处理槽处理液的第1、第2供给喷嘴管，其特征在于，上述第1、第2供给喷嘴管，分别由中空筒状体、长距离方向的侧面按规定间隔排列成1列的具有多个喷射口的供给喷嘴管组成，其中第1供给喷嘴管，使其喷射口相对于水平方向以规定角度，向斜下方倾斜，第2供给喷嘴管，使其喷射口相对于水平方向以规定角度，向斜上方倾斜，在上述处理槽的一侧壁面上以规定间隔分离，大致呈水平设置。