[发明专利]追踪方法及设备无效
| 申请号： | 200580035332.2 | 申请日： | 2005-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101052920A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 尾崎多可雄;冈崎洋二 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03B27/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种追踪方法，其中通过在预定的扫描方向上相对于追踪面移动空间光学调制装置来执行追踪操作。空间光学调制装置包括许多追踪元件，用以根据依据追踪信息传送的控制信号调制输入光。所述方法使空间光学调制装置可快速执行所述调制以减少追踪时间。特定的调制装置被分成多个区块A至D，用于各区块A至D的控制信号被并行传送到区块。 | ||
| 搜索关键词： | 追踪 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种使用空间光学调制装置的追踪方法，所述空间光学调制装置由以两维方式设置于其上的许多追踪元件构成，用以根据依据追踪信息传送的控制信号调制输入光，其中通过将所述控制信号传送到所述空间光学调制装置的所述追踪元件实施所述调制、并在预定的扫描方向上相对于追踪面移动所述空间光学调制装置来进行追踪，其中：所述空间光学调制装置在所述扫描方向上被分成多个区块；以及用于各所述多个区块的所述控制信号被并行传送至所述多个区块。
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