[发明专利]检查用光学装置、以及具有该光学装置的检查装置和检查方法无效
| 申请号： | 200580039375.8 | 申请日： | 2005-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101061380A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 玉井进悟;村上研太郎;西泽光明 | 申请（专利权）人： | 株式会社英特埃库迅 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G03B43/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 目的在于提供一种能够缩小空间、并且通用性强的检查用光学装置。是向透镜组件(102)投影作为配置在规定位置上的检查用的被拍物的规定图案的光学装置(1)，具有：形成图案的测试图(12)；从透镜组件(100)来看、从测试图(12)的背后侧对测试图(12)照射光的光源(11)；以及设置在测试图(12)和物镜(101)之间的物体距离变换透镜(3)，物体距离变换透镜(3)为了将来自测试图(12)的光转变为等同于比测试图(12)更远处的光，将来自测试图(12)的各同族光束(LF)呈放射状地射出，同时射出各同族光束(LF)，使得各同族光束(LF)的主光线(ML)互相会聚，测试图(12)配置在比上述规定位置更靠近透镜组件(100)的位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 用光 装置 以及 具有 光学 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查用光学装置，其特征在于，是向包含物镜和通过该物镜对被拍物进行摄像的摄像元件的检查对象、投影作为对所述检查对象配置在规定位置的检查用的被拍物的规定图案的光学装置，具有：与所述物镜对向配置、并且形成所述图案的测试图；从所述检查对象来看从所述测试图的背后侧向所述测试图照射光的光源；以及设置在所述测试图和所述物镜之间的物体距离变换透镜，所述物体距离变换透镜，为了将来自所述测试图的光变换为等同于比所述测试图更远处的光，将来自所述测试图的各同族光束分别呈放射状射出，同时射出各同族光束，使得各同族光束的由该物体距离变换透镜本身规定的主光线互相会聚，所述测试图配置在比所述规定位置更靠近所述检查对象的位置上。
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