[发明专利]基板的清扫装置和清扫方法有效
| 申请号： | 200580043006.6 | 申请日： | 2005-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN101080283A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 坂田滋 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B5/04;G02F1/13;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面的清扫装置，具有：第一清扫单元(100A)，清扫基板的一个侧边的上下表面；第二清扫单元(100B)，与第一清扫单元相对配置，与一个侧边同时清扫与基板的该一个侧边相对的另一个侧边；载置台(104)，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运基板。 | ||
| 搜索关键词： | 清扫 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基板的清扫装置，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面，其特征在于，具有：第一清扫单元，清扫上述基板的一个侧边的上下表面；第二清扫单元，与该第一清扫单元相对配置，与上述一个侧边同时清扫与上述基板的上述一个侧边相对的另一个侧边；搬运机构，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运上述基板。
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