[发明专利]液晶显示装置用基板的制造方法有效
| 申请号： | 200580046016.5 | 申请日： | 2005-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101099106A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 饭野仁 | 申请（专利权）人： | 集成方案株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/13;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在TFT基板的规定位置上高精度地形成滤色器或者黑矩阵的曝光图案的液晶显示装置用基板的制造方法。为此，包括：在TFT基板(6)上涂敷滤色器或者黑矩阵的感光材料的步骤；由搬运单元(3)边以规定速度搬运涂敷了上述感光材料的TFT基板(6)边由摄像单元(2)拍摄像素区域的步骤；由控制单元(4)的图像处理部(13)检测利用上述摄像单元(2)拍摄的像素区域中预先设定的基准位置的步骤；以及形成步骤，以该检测出的基准位置为基准，由灯控制器(16)控制曝光光学系统(1)的光源(7)的照射定时，在TFT基板(6)的规定位置上形成滤色器或者黑矩阵的曝光图案。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 显示装置 用基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液晶显示装置用基板的制造方法，是在对每个像素区域设置薄膜晶体管并且将用于驱动该薄膜晶体管的布线设置在上述像素区域周边的TFT基板上形成滤色器或者黑矩阵的液晶显示装置用基板的制造方法，其特征在于，包括：涂敷步骤，在上述TFT基板上涂敷滤色器或者黑矩阵的感光材料；拍摄像素区域的步骤，边以规定速度搬运涂敷了上述感光材料的TFT基板边拍摄上述像素区域；检测基准位置的步骤，检测预先设定在该拍摄的像素区域中的基准位置；以及形成步骤，以该检测到的基准位置为基准来控制曝光光的照射定时，在上述TFT基板上的规定位置形成滤色器或者黑矩阵的曝光图案。
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