[发明专利]用于控制自组装膜中的核化的方法和装置有效
申请号: | 200580050148.5 | 申请日: | 2005-06-28 |
公开(公告)号: | CN101213029A | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 谢亚宏 | 申请(专利权)人: | 加利福尼亚大学董事会 |
主分类号: | B05D3/02 | 分类号: | B05D3/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲;吴贵明 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种在基板上形成具有周期性纳米尺寸特征(例如,孔)的自组装膜的方法,该方法包括在基板上提供膜前体的步骤,其中膜前体保持在无定形状态。在膜前体为嵌段共聚物的情况下,提供加热件。随后基板和加热件相对于彼此移动,以将基板上的膜前体的一部分的温度升高到它的玻璃化转变温度以上。基板与加热件之间的相对移动继续,直到自组装结晶膜形成在基板表面上为止。在替换实施例中,提供pH分配件以将pH调节剂分配到基板上,从而促进结晶膜的自组装。 | ||
搜索关键词: | 用于 控制 组装 中的 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种在基板上形成自组装膜的方法,所述方法包括:在基板上提供无定形状态的膜前体;邻近于所述基板提供加热件;使所述基板和所述加热件相对于彼此移动以形成自组装结晶膜。
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