[发明专利]一种夹取装置有效
申请号: | 200610027373.3 | 申请日: | 2006-06-07 |
公开(公告)号: | CN101086484A | 公开(公告)日: | 2007-12-12 |
发明(设计)人: | 虞勤琴;李明;周晶;秦天 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N23/227 | 分类号: | G01N23/227;H01L21/66 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 李勇 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种夹取装置,该装置包括:握持部,夹取部通过连接部与握持部连接;夹取部包括:凹形部,及由其两侧延伸的第一臂和第二臂,构成容置空间;第一凹槽,水平穿设于所述的第一臂,第二凹槽水平穿设于所述的第二臂,分别平行于凹形部及所述两个臂构成的平面,形成U形通道;圆柱形孔,对称设置于第二深槽的上下侧壁内;转动轴,两端可插入所述圆柱形孔中转动;连杆组件,固定于转动轴上;限位件,设置在第一臂上,用于锁定连杆。本发明的夹取装置应用于高真空仪器中,握持部在仪器外,夹取部在仪器内部,处于真空系统中,本发明的装置在夹取样品支撑台等物品时可以避免被夹物从中滑出。 | ||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
【主权项】:
1.一种夹取装置,包括:握持部;夹取部通过连接部与握持部连接;夹取部包括:凹形部,及由其两侧延伸的第一臂和第二臂,构成容置空间;其特征在于,第一凹槽,水平穿设于所述的第一臂,第二凹槽水平穿设于所述的第二臂,平行于凹形部及所述两个臂构成的平面,分别形成U形通道;圆柱形孔,对称设置于所述第二凹槽的上下侧壁内;转动轴,两端插入所述圆柱形孔中,可以转动;连杆组件,包括多个连杆,固定在转动轴的圆周上,所述多个连杆和转动轴一起转动,用于夹取并将被夹取物锁定在夹取部的容置空间内,或释放被夹取物;限位件,设置在所述第一臂的第一凹槽的下侧壁上,用于锁定连杆组件。
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