[发明专利]用于扫描电子显微镜的样品支架有效
| 申请号： | 200610030097.6 | 申请日： | 2006-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101127293A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 苏凤莲;葛挺锋;章鸣;王俊杰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于扫描电子显微镜的样品支架，它可以防止样品支架的螺杆旋出底座卡在平台上。它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座，其中，它还包括一个螺杆机构，所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆，所述螺杆与所述底座的螺纹孔相连，所述螺杆机构的下部可旋入底座部分不超过底座厚度，所述螺杆机构的上部与样品台相连。所述螺杆机构包括两个部分，螺杆机构下部一端带有所述螺杆，上部为可更换模块，该可更换模块分别与螺杆机构下部和样品台通过可快速拆卸机构连接。所述的可快速拆卸机构为螺纹螺杆机构。所述每个可更换模块的高度根据需要进行设定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 电子显微镜 样品 支架 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描电子显微镜的样品支架，它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座，其特征在于，它还包括一个螺杆机构，所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆，所述螺杆与所述底座的螺纹孔相连，所述螺杆机构的下部可旋入底座部分不超过底座厚度，所述螺杆机构的上部与样品台相连。
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