[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法有效
| 申请号： | 200610060635.6 | 申请日： | 2006-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101071827A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 颜硕廷 | 申请（专利权）人： | 群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12;H01L21/336;H01L21/84 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管基板，其包括依次层叠设置的一基板、一硅薄膜、一绝缘层和一金属层，其中，该绝缘层包括一第一绝缘层和一第二绝缘层，该第二绝缘层覆盖部分第一绝缘层。本发明还提供一种制造上述薄膜晶体管基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管基板，其包括依次层叠设置的一基板、一硅薄膜、一绝缘层和一金属层，其特征在于：该绝缘层包括一第一绝缘层和一第二绝缘层，该第二绝缘层覆盖部分第一绝缘层。
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