[发明专利]产生对准记号的方法有效
| 申请号： | 200610075276.1 | 申请日： | 2006-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101059660A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 许汉东 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种在一基板上产生对准记号的方法，该方法包括：提供一光掩模，该光掩模定义至少一个对准记号组，该对准记号组包含一第一曝光机可使用的一第一对准记号与一第二曝光机可使用的一第二对准记号；以及在该第一曝光机中利用该光掩模以在该基板上产生该第一对准记号以及该第二对准记号；其中该第一对准记号大致上紧邻该第二对准记号。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 对准 记号 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在基板上产生对准记号的方法，该方法包括：提供光掩模，该光掩模定义至少一个对准记号组，该对准记号组包含第一曝光机可使用的第一对准记号与第二曝光机可使用的第二对准记号；以及在该第一曝光机中利用该光掩模以在该基板上产生该第一对准记号以及该第二对准记号；其中该第一对准记号紧邻该第二对准记号。
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