[发明专利]机械手臂的无线三维位移校正系统无效
| 申请号： | 200610092585.X | 申请日： | 2006-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN101088717A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 杨盛华;梁家逢 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;H01L21/67;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种机械手臂的无线三维位移校正系统。该系统的无线3D位移监视传感器具有一电子水平传感器(Electric Leveling Sensor)、一Z轴光学尺(Optical Scale)以及一X－Y轴电子电荷耦合组件监视传感器(XY－axes CCD Monitor Sensor)，以分别监控与校正机械手臂的水平状态、偏移量与间隙大小。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 手臂 无线 三维 位移 校正 系统 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂的无线三维位移校正系统，包括：一无线三维位移监视传感器，其包括：一电子水平传感器，其包括：一弧状空间，其内部以液态物质填充且具有一气泡；以及一传感器，其用以感测该气泡的位置；以及一校正器，自该传感器取得该气泡的位置并且显示在其显示屏上，根据一预设标准范围判断一制作工艺设备是否呈现水平状态，以及若非为水平状态则计算出该制作工艺设备的偏移量。
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