[发明专利]真空获得系统

摘要

本发明公开了一种真空获得系统，包括分子泵，分子泵的入口通过入口阀与反应室连接，分子泵的出口通过排出阀与真空泵连接，还包括分子泵保护装置，根据检测到的报警信号，控制关闭分子泵的入口阀或排出阀；分子泵保护装置包括报警装置，用于检测分子泵入口压力、出口压力及系统中各设备工作情况，当压力超过设定值或设备工作异常时，由分子泵保护控制装置通过互锁电路控制关闭入口阀或排出阀，保护分子泵不受损坏；还包括互锁屏蔽电路，可使互锁电路失效，并由控制信号单独控制入口阀或排出阀。本发明涉及微电子领域，用于真空获得系统分子泵的安全运行保护措施。

主权项

1.一种真空获得系统，包括反应室、分子泵和真空泵，所述分子泵的入口通过入口阀与反应室连接，所述分子泵的出口通过排出阀与真空泵连接，在所述排出阀和真空泵之间的出口管路与反应室之间连接有安装旁抽阀的旁抽管路，其特征在于，所述真空获得系统还包括分子泵保护装置，该分子泵保护装置根据对系统故障的检测而产生报警信号来控制关闭分子泵的入口阀和/或排出阀。