[发明专利]湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统有效
| 申请号： | 200610118341.4 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101185928A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;邵业明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B3/08;F17D1/08;G08B21/18;H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其包括提供超纯水的超纯水供应装置，与超纯水供应装置输出端串连的常闭阀门，与常闭阀门输出端串连的蚀刻槽；该系统还包括一个与常闭阀门并联的常开阀门，其输入端连接到超纯水供应装置的输出端。与现有技术相比，本发明的系统在断电的情况下，当晶圆在蚀刻槽内蚀刻的时间超过预定时间，常开阀门就会开启，超纯水经由常开阀门，漏液探测器，单向阀门注入蚀刻槽内，从而有效防止断电情况下超纯水不能及时注入蚀刻槽而造成晶圆报废。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 清洗 机台 自动 紧急 水系 | ||
【主权项】：
1.湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统包括提供超纯水的超纯水供应装置，与超纯水供应装置输出端串连的常闭阀门，与常闭阀门输出端串连的蚀刻槽；其特征在于，该系统还包括一个与常闭阀门并联的常开阀门，该常开阀门的输入端连接到超纯水供应装置的输出端。
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