[发明专利]半导体生产线的监控方法及系统无效
| 申请号： | 200610119133.6 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101196732A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 伊德尔;洪启德;陈泰祥 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;G05B19/048;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产线中各个半导体设备的状态信息；建立所述各个半导体设备的状态信息和其相应的信息标识的链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；本发明还提供一种半导体生产线得监控系统，包括：数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；数据处理装置，用于生成所述生产线上的半导体设备的状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建立链接。本发明生产线的监控方法和系统可监测整个生产线的各个设备的状态信息的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产线 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产线中各个半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；其中，通过所述链接将所述半导体设备的状态信息更新至相应的信息标识。
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