[发明专利]玻璃基板均匀薄化装置无效
| 申请号： | 200610140949.7 | 申请日： | 2006-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101164945A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 谢育和 | 申请（专利权）人： | 三福化工股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关一种玻璃基板均匀薄化装置，主要包含一蚀刻循环槽、一基板固定机构以及一柏努利振荡机构。该蚀刻循环槽，是用以容纳与更新玻璃蚀刻液。该基板固定机构，是用以固定复数个玻璃基板于该蚀刻循环槽内。该柏努利振荡机构，是连接该基板固定机构，以使在该蚀刻循环槽内的玻璃基板作各式振荡动作。本发明可以达到均匀蚀刻密集排列的玻璃基板，并减少氢氟酸气化量。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 均匀 化装 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板均匀薄化装置，其特征在于其包含：一蚀刻循环槽，用以容纳与更新玻璃蚀刻液；一基板固定机构，用以固定复数个玻璃基板于该蚀刻循环槽内；以及一柏努利振荡机构，其是连接该基板固定机构，以使在该蚀刻循环槽内的玻璃基板作振荡动作。
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