[发明专利]用于化学气相沉积装置的保温器

摘要

一种用于化学气相沉积装置的保温器，所述保温器包括保温片和连接柱，所述保温片包括第一保温片、第二保温片......以及第n保温片，所述n为自然数，所述第一保温片、第二保温片......第n保温片呈相同的规则形状，依次沿垂直于保温片的中心轴向排列，相邻保温片之间具有一定间隔，并且相邻保温片通过连接柱相连接，围绕第一保温片边缘设置有定位突起。本发明还提供另一种保温器结构，在第一保温片上通过定位突起定位放置有碳化硅片。本发明通过把碳化硅片固定与第一保温片上，由于碳化硅片与薄膜的结合力较强，累积厚度达到12.5μm也不容易脱落，不会对晶圆造成污染，同时把累计沉积薄膜的厚度延长至12.5μm，简化了工艺。

主权项

1.一种用于化学气相沉积装置的保温器，所述保温器包括保温片和连接柱，所述保温片包括第一保温片、第二保温片......以及第n保温片，所述n为自然数，所述第一保温片为顶端保温片，所述第一保温片、第二保温片......第n保温片沿垂直于保温片表面方向堆叠排列，相邻保温片之间具有间隔，并且相邻保温片通过连接柱相连接，其特征在于，围绕第一保温片边缘设置有定位突起。