[发明专利]半导体结构的形成方法及半导体结构有效
| 申请号： | 200610150312.6 | 申请日： | 2006-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101064251A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡方文;陈奕伊;吴振诚;林志隆;包天一;郑双铭;余振华 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/31 | 分类号： | H01L21/31;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体结构的形成方法及半导体结构，包括：提供一半导体基底；形成一介电层于该半导体基底上；通过化学气相沉积法形成一附着层于该介电层上，其中该附着层包括一过渡层形成在该介电层上，且该过渡层至少具有一自该过渡层的底部至顶部逐渐改变的特性；形成一低介电常数介电层于该附着层上，且该低介电常数介电层与该附着层在相同腔室中形成；以及形成一镶嵌开口在该低介电常数介电层中。本发明所述的半导体结构的形成方法及半导体结构，可使低介电常数介电层及其下层之间的附着力获得改善，并因此减少破裂及/或剥离的问题发生。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 结构 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体结构的形成方法，其特征在于，该半导体结构的形成方法包括：提供一半导体基底；形成一介电层于该半导体基底上；通过化学气相沉积法形成一附着层于该介电层上，其中该附着层包括一过渡层形成在该介电层上，且该过渡层至少具有一自该过渡层的底部至顶部逐渐改变的特性；形成一低介电常数介电层于该附着层上，且该低介电常数介电层与该附着层在相同腔室中形成；以及形成一镶嵌开口在该低介电常数介电层中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
