[发明专利]四次谐波紫外激光器无效

专利信息
申请号: 200610157264.3 申请日: 2006-12-04
公开(公告)号: CN101197488A 公开(公告)日: 2008-06-11
发明(设计)人: 高云峰;郑珺辉;周宇超;李君;马淑贞;陈艳;吴教强 申请(专利权)人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
主分类号: H01S3/109 分类号: H01S3/109;H01S3/05;G02F1/37
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518057广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明揭露一种四次谐波紫外激光器,包括至少一非线性晶体、至少一镜片,非线性晶体和镜片上镀有膜层,包括移动装置,当激光器的激光光路通过非线性晶体或镜片时,对非线性晶体或镜片上一个位置的膜层破坏时,移动装置可移动非线性晶体或镜片,使非线性晶体或镜片变换位置对准激光光路。本发明通过设计几种小型精密的位移或旋转结构,改变深紫外光束光斑在膜层上的工作位置。同时由光束大小划分出可移动数目,依次进行移动。由此合理全面地利用整个晶体及镜片上可用膜层:当一个位置的膜层破坏了之后可以在光学精度允许的范围内自动移动至另一个可使用的位置,可使四次谐波紫外激光器寿命可以呈几何数列的倍数增加。
搜索关键词: 四次 谐波 紫外 激光器
【主权项】:
1.一种四次谐波紫外激光器,包括至少一非线性晶体、至少一镜片,非线性晶体和镜片上镀有膜层,其特征在于:包括移动装置,当激光器的激光光路通过非线性晶体或镜片时,对非线性晶体或镜片上一个位置的膜层破坏时,移动装置可移动非线性晶体或镜片,使非线性晶体或镜片变换位置对准激光光路。
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