[发明专利]一种阳极氧化零件表面的清洗方法有效
| 申请号： | 200610165559.5 | 申请日： | 2006-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101204701A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 朱哲渊 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明;郭宗胜 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，主要包括使用有机溶剂、碱性溶液、稀释的酸性溶液、氧化剂氟化酮和超声清洗的方法去除腔室阳极氧化处理表面的复杂污染物，可分别去除油污、金属、金属盐、含F的复杂副产物；此清洗方法是一种无损伤、快速有效的清洗阳极氧化表面的有效方法，如果有损伤也是极为微量的采用本发明的清洗方法对多晶刻蚀机腔室的阳极氧化表面进行清洗，可达到无损伤、简便有效去除表面的复杂污染物，并使腔室恢复到正常的状态，符合生产工艺要求，本发明也可用于带有阳极氧化表面的零部件的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 氧化 零件 表面 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：A、用有机溶剂清洗零件表面；B、用碱性溶液清洗零件表面；C、用酸性溶液清洗零件表面；D、用氟化酮或氟化酮与有机溶剂的混合溶液清洗零件表面；E、用超声波清洗零件。
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