[发明专利]光学检测装置有效
| 申请号： | 200610172543.7 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101210886A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄炜展;洪朝阳;郑智杰;吕尚杰 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/896 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 光学检测装置包括多个光学感测器、多个取像单元、多个检测单元、多个子控制单元、整合单元及主控制单元。这些光学感测器用以感测基板。这些取像单元分别用以驱动这些光学感测器，以采集多个图像信息。这些检测单元分别用以检测这些图像信息，并输出多个检测信息。这些子控制单元分别用以控制这些取像单元及这些检测单元。整合单元用以整合这些检测信息，并输出检测结果。主控制单元用以控制这些子控制单元。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测装置，包括：多个光学感测器，用以感测基板；多个取像单元，分别用以驱动该光学感测器，以采集多个图像信息；多个检测单元，分别用以检测该图像信息，并输出多个检测信息；多个子控制单元，分别用以控制该取像单元及该检测单元；整合单元，用以整合该检测信息，并输出检测结果；以及主控制单元，用以控制该子控制单元。
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