[实用新型]一种涡轮分子泵的泄压装置

摘要

本实用新型属于抽真空设备保护技术领域，具体涉及一种机械式真空泵——涡轮分子泵的泄压装置。涡轮分子泵运转时，如果管道大气泄漏，猛增的气体所产生高气压会导致涡轮分子泵损坏。本实用新型提供了一种能够在瞬间泄压的装置。该泄压装置由两个联接法兰(1和2)、泄压装置主体(3)、密封圈(4)、卡环(5)、螺帽(6)和柱塞(8)或者低真空测量规组合而成。正常运转时泄压装置密闭，而运转中一旦碰到管道突然大气泄漏，此时涡轮分子泵排出的气体因猛增而将柱塞(8)或者低真空测量规喷射出去，达到排气效果。排除管道漏气故障后，把柱塞(8)或者低真空测量规装回原来位置，重新启动分子泵，分子泵及泄压装置即可正常运转。

主权项

1.一种涡轮分子泵的泄压装置，由一个卡套式封口总成和两个联接法兰构成，卡套式封口总成通过两个联接法兰分别与涡轮分子泵排气口和前级泵联接固定，其特征在于，卡套式封口总成由泄压装置主体(3)、密封圈(4)、螺帽(6)和柱塞(8)组合而成；柱塞(8)侧剖面呈T字形，T字形头部伸出泄压装置主体(3)出口端外，柱塞(8)其余部分紧贴于泄压装置主体(3)内；密封圈(4)位于泄压装置主体(3)凹槽内，并且紧贴柱塞(8)；螺帽(6)套在泄压装置主体(3)外侧，通过压紧密封圈(4)压紧柱塞(8)，使柱塞(8)在涡轮分子泵正常运转时静止于泄压装置主体(3)内。