[实用新型]去胶机无效
| 申请号： | 200620049450.0 | 申请日： | 2006-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN201004156Y | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 林忠宝 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种去胶机，具有加热部件和起模顶杆，所述加热部件具有加热板以及至少一个贯穿加热板的孔，起模顶杆在孔中贯穿移动，所述孔在加热板工作面一侧的孔径大于在加热板非工作面的孔径。使起模顶杆与加热部件摩擦产生的碎屑不会黏附在加热部件的表面，避免了现有技术中无法使晶圆水平放置在加热板上的缺陷，从而避免在去除光刻胶层的过程中在晶圆表面存在光刻胶层的残留。 | ||
| 搜索关键词： | 去胶机 | ||
【主权项】：
1.一种去胶机，具有加热部件和起模顶杆，所述加热部件具有加热板以及至少一个贯穿加热板的孔，起模顶杆在孔中贯穿移动，其特征在于，所述孔在加热板工作面一侧的孔径大于在加热板非工作面的孔径。
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