[实用新型]一种反应腔内壁清扫装置无效
| 申请号： | 200620049606.5 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN200984581Y | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 赵春波 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/20 | 分类号： | B08B9/20;B08B9/36;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种反应腔内壁清扫装置。现有的反应腔在清扫内壁时只有拆开反应腔才能进行内壁清扫，致使清扫过程复杂、用时过长、浪费人力且污染环境。本实用新型的反应腔内壁清扫装置，包括一设置在该反应腔内的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。采用本实用新型的反应腔内壁清扫装置能简化清扫过程且节约人力及清扫时间，并使清扫过程清洁无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应 内壁 清扫 装置 | ||
【主权项】：
1、一种反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该装置包括一设置在该反应腔内用以清扫反应腔内壁的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。
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